鸡西万级手术室净化价格示例

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净化厂房将一定空间范围之内空气中的微粒子、有害空气等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。

（1）温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5％。    （2）新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可根据以下数值应取下列的至大值：非单向流洁净室总风量的10—30％；补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.

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